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    半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備

    半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。

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